第1537章

“徐教授，为了实现光刻机高分辨率的图案转移，我们根据光刻机理论体系得知，我们需要设计出高精度的光学系统。”

“在设置高精度的光学系统之中，我们主要对其控制系统设计做了详细的研究。”

“只不过怕到了最后，我们发现即使我们设计出了堪称完美的控制系统却也无法形成高精度的光学系统......”

......

徐浩听过光刻机项目总负责人曾祥胜的解答后。

心中顿时有了几分猜测。

首先在光刻机的高精度光学系统之中。

控室系统设计确实是实现光刻机高精度成像的重要保障。

只不过徐浩早已经对整个光刻机项目进行了详细的验证都没有发现任何问题。

而这些光刻机专家所构造的光刻机的控制系统也确实如他们所说的那样堪称完美。

那就说明导致光刻机项目陷入僵局的原因压根不是出在这个所谓的高精度的光学系统之中的控制系统之中。

又或者换个说法的话就是这或许就是一场彻头彻脑的实验乌龙罢了。

是由于这些光刻机专家的对光刻机技术的认知不够。

才导致他们认为光刻机项目陷入僵局是由于高精度的光学系统出现了问题才导致的。

也可以说到目前为止。

光刻机项目并没有任何的问题。

光刻机项目也可以顺利进行下去。

一切都是因为这些光刻机专家对光刻机的高精度光学系统的理论体系掌握的不够彻底。

导致他们无法继续进行光刻机项目的下一步。

而徐浩此刻也对这些光刻机专家在高精度的光学系统的理论体系中存在哪些掌握不足有了大致的猜测。

想到这。

徐浩有些无奈的摇了摇头。

毕竟若是自己说出光刻机项目到目前为止其实并没有出现什么问题。

光刻机项目也并没有陷入僵局，项目仍然能够继续进行下去这种话。

对这些光刻机专家来说。